Ehemalige Direktoren
Eberhard Gross
Direktor am Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik 2009-2019Ulrich Gösele
(*25.01.1949 †08.11.2009)Direktor am Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik 1993-2009
Patrick Bruno
Direktor am Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik 1998-2007Johannes Heydenreich
(*20.06.1930 †24.06.2015)Direktor am Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik 1992-1995